6單溫區CVD真空管式爐

爐體結構

• 雙層殼體，循環風冷. 
• 爐體表面溫度< 70 ºC
• 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，環保節能

工作電壓

AC 220V

功率

8KW

爐管規格

• 6" O.D x  40" 長
•  標配內包含一只石英管, 多余的管子可單獨訂購 (點擊下圖查看)
  

加熱元件

NiCrAl 電阻絲

工作溫度

• 工作溫度: 400 -1100°C
• 升降溫速率: 10°C/min(max)

加熱區

• 加熱區總長:    600mm (24'')
• 恒溫區長度: 中心200mm (精度±1°C)
• 在800℃時爐膛溫度分布曲線( 點擊下圖查看)    
  

控溫儀

• 采用30段可編程PID數字溫度控制器
• 設有一個額外的溫度校準檢測系統
• 雙K型熱電偶測溫.
• 溫控精度: ±1°C
• 軟件接口、模塊和PC機不在標配內需額外訂購
• 可選: PC接口和軟件
  

密封法蘭和進氣接口

• 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達到  (機械泵：10-2 torr、分子泵：10-4 torr).  真空泵不包含在內
•  右端法蘭上設有一個鎧裝熱偶檢測口和KF40真空接口.   ( 如需對爐膛溫度進行校準請訂購36" 長 x 1/4"dia  K 型熱電偶)
• 包括兩個高純氧化鋁或石英管堵,設備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射
• 

產品尺寸

爐體:  1000L x 680W x 920 H  mm

凈重

250Kg

保修期

整機保修一年，相關耗材除外。（如密封圈、爐管等）

質量認證

   Certificate