三溫區1500oC PECVD管式爐

三溫區開啟式1500℃管式爐

• zui高工作溫度1500℃
• 連續使用溫度1400℃
• 三個溫區分別由三個溫控系統來控制，都可設置30段升降溫程序
• 每個溫區長度為200mm
• 總溫區長度為600mm
• 爐管為高純剛玉管
• 爐管尺寸：84 O.D x 73 I.D x 1500mm L 
• 輸入電源： 208 – 240V AC，單相
• zui大功率：6.6KW
• 配有一對不銹鋼真空密封法蘭，法蘭上帶有石英觀察窗口
• 內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。
  

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射頻電源

• 輸出功率:          5 -500W    ± 1% . 
• 射頻頻率:          13.56 MHz    ±0.005% .
• 反射功率:          zui大 200W 
• 匹配:                自動
• 射頻接口:       50 Ω, N-type
• 噪音:                    <50 dB. 
• 冷卻:                  風冷. 
• 電源:                AC   208-240V, 50/60Hz 

防腐型真空計

• 輸入電源   24V，1A  DC（配有一電壓轉換器）
• 測量范圍   3.8x10-5 -1125 Torr.
• 數據顯示   數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr
• 接頭     1/8"NPT 接頭
• 產品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

真空系統

• 采用TRP-12的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr 
• KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連.
• 管內真空可達10E-2 Torr 
   

質量流量計混氣系統

• 四個精密的質量流量計(精度1.5% ) ：數字顯示，自動控制.
• MFC 1范圍:  0~100 sccm 
• MFC 2和3:    0~200 sccm  
• MFC 4范圍:   0~500 sccm 
• 一個混氣罐，底部裝有泄廢液口. 
• 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側，可手動控制4種氣體.
• 進氣口: 4個1/4NPS. 
• 出氣口: 4個 1/4NPS. 
• 采用PLC控制流量計，通過觸摸屏進行控制
  

溫控系統

• 三個溫區分別由三個溫控系統控制
• 采用PID方式調節溫度，可設置30段升降溫程序
• 帶有超溫和斷偶保護
• 控溫精度：+/- 1 ºC
• 控溫儀表操作視頻
• 可選;此款設備可以安裝控制模塊，將溫度設置和溫度曲線導入到電腦
  

外型尺寸

• 爐體：550 x 380 x 520  mm 
• 爐體下端移動柜：1800×600×600mm
• 凈重：220 Lbs. 
• 運輸重量：1200lbs

質保期

一年質保期，終身維護，相關耗材除外如爐管，密封圈等易耗件

質量認證

  CE Certified