1700℃單溫區三通道混氣CVD系統-GSL-1700X-F3LV

• 采用雙層殼體結構，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C.
• 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環保節能，減少熱量的損失
• 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

 1800 grade MoSi2   ( 8根) 
 

• 一個精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR
• 可設置30段升降溫程序. 
• 控溫儀表操作視頻
• 帶有過熱和斷偶保護

• 99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管
• ID: 72mm x  OD: 80 mm   x 1000 mm length.    

• 兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經安裝數字式真空顯示計，和閥門
• 通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr 
• 泄漏率zui大6 mtorr/min

• 一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內
• 通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr 

• 標配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭
• 一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍
• 一個LED數字式真空顯示計（測量范圍： 0.1mtorr ~ 850 torr)
• 可選：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。（點擊圖片查看詳細介紹）

• 3個浮子流量計（精確度4%FS）安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。
• *路氣體流量范圍為10-100 cc/min. 
• 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. 
• 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
•  一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內的混氣箱相連接 ，來監測混合氣體的壓力
• 四個不銹鋼針閥安裝在前面板上
   

  Front Panel	Back Panel	Gas Routes

      

• 外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管
• 爐體尺寸：550 x 500 x 700mm L x W x H
• 混氣系統：: 600 x 600 x 700mm 真空機組： 600 x 600 x 700mm