咨詢熱線

18255163376

當前位置：首頁   >  產品中心  >  薄膜制備全套設備  >  濺射源及真空腔體  >  2英寸高真空磁控濺射頭--HVMSS-SPC-2-LD

2英寸高真空磁控濺射頭--HVMSS-SPC-2-LD

簡要描述：HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

  • 產品型號：
  • 廠商性質：生產廠家
  • 更新時間：2025-02-10
  • 訪  問  量：2527

詳細介紹

    HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。


技術參數

特征

(點擊圖片查看詳細資料）

 

  • 采用高質量的不銹鋼和陶瓷材料制作
  • 采用電磁場的有元計算法來設計永磁體，以得到較高的磁場強度和均強場分布
  • 磁體表面涂有一層保護層，以防止冷卻水的腐蝕，延長其使用壽命
  • 標準的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配
  • 安裝是采用標準真空接頭，便于操作
  • 更換靶材較為簡單，無需調整濺射頭的高度

所需功率

  • DC（zui大）1000W
  • RF（zui大）500W

zui大濺射電流

3A

濺射電壓

100-1000 V

濺射時腔體真空度

5-100 mTorr

濺射均勻性曲線圖

尺寸

  • 陽極護套直徑：3.5英寸
  • 總長度：14英寸

靶材

  • 直徑: 2.0英寸(50.8mm)
  • 厚度: 對于非磁性靶材，zui大厚度為1/4英寸
                  對于磁性靶材，zui大厚度為1/16英寸
  • 靶材利用率：30%
  • 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵

需要冷卻水

  • 流速:   0.8 GPM
  • 進水溫度:<20 ℃
  • 水管:0.25" OD.

可選配件

  • 當同時購買300W射頻發射器和2英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭
  • 此快速接頭的內徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸
     
  • 循環水冷機，流量為16L / min ，水箱容積為6L

質保

一年質保期，終生維護

 

產品咨詢

留言框

  • 產品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7

聯系我們

中美合資合肥科晶材料技術有限公司 公司地址：安徽省合肥市蜀山區科學院路10號   技術支持：化工儀器網
  • 聯系人：朱沫浥
  • QQ：2880135211
  • 公司傳真：86-551-65592689
  • 郵箱：zhumoyi@kjmti.com

掃一掃 更多精彩

微信二維碼

網站二維碼

污片网站在线观看